国度大基金二期结构半导体筑造零部件的最新动向，让国内筑造零部件企业再次站优势口。
3月31日，万业企业(600641.SH)通告称，大基金二期、上海半导体装置质料物业投资基金合资企业(有限合资)拟向公司参股子公司浙江镨芯别离增资3.5亿、0.4亿元。本次增资后，大基金二期持股17.284%。材料显示，浙江镨芯持有镨芯控股73.11%股权，镨芯控股则持有环球当先的半导体筑造零部件供应商Compart100%股权。
Compart是环球极少数可结束流量局限规模零组件严紧加工全数合头的公司之一，产物紧要征求气体输送零部件、组件、密封件、气棒总成、质料流量局限器(MFC)等，是集成电途行业中高端MFC组件的当先者，正在中国深圳及马来西亚库林具有两座工场。
据不统悉数计，台积电、三星、SK海力士、英特尔、中芯国际、华虹半导体等晶圆厂正在近两年都有区别领域的新增产能参加。国际半导体物业协会(SEMI)猜测，2021年中国大陆的芯片厂房扶植投资希望创下180亿美元史册新高，2022年将进一步擢升至270亿美元，同比拉长50%。
SEMI预测，2021年环球半导体筑造商场领域将达953亿美元，同比拉长34%；2022年这一数字希望抵达1013亿美元，同比拉长6%；2020-2022年复合拉长率(CAGR)抵达19%。
据悉，目前环球半导体零部件商场紧要征求两片面：一是环球半导体筑造厂约定造临蓐或采购的零部件及合系效劳。VLSI数据显示，2020年半导体筑造子体例商场发售领域挨近100亿美元，此中维修和援手效劳占46%，零部件产物发售占32%，更换升级占22%；二是环球半导体创造厂直接采购的动作耗材或备件的零部件及合系效劳。
从商场方式来看，美国、日本公司正在半导体筑造零部件方面处于垄断位置。据ICWorld2020公然的20类半导体重心零部件产物的44家紧要供应商，此中美国供应商有20家，约占45%，日本供应商16家，约占36%。另表，尚有2家德国供应商、2家瑞士供应商、2家韩国供应商、1家英国供应商。
固然第一财经此前调研挖掘，国内半导体筑造厂和半导体创造厂更目标于利用本土零部件，但据光大证券，目前国产半导体筑造零部件企业的本事才气、工艺秤谌、产物精度和牢靠性与海表差异较大，集体国产化率仅为10%-30%，更加是正在Compart合系的流量局限规模，之前的国产化率简直为零。
然而，目前本土半导体筑造零部件厂商正在钣金件、金属件、腔体等少少本事壁垒相对容易冲破的规模依然结束了必然水平的国产化，乃至海表头部半导体筑造厂商出于本钱优化的考量，也会向本土厂商采购相应的零部件。
另据芯谋探究，2020年中国大陆晶圆厂直接采购零部件金额赶上10亿美元。剔除三星等海表厂商正在我国的产线，中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫等国内晶圆厂直接采购零部件金额约4.3亿美元。
目前国内已有多家企业结构半导体筑造零部件合头，征求英杰电气(300820.SZ)、万业企业、新莱应材(300260.SZ)、靖江前卫、晶盛机电(300316.SZ)、江丰电子(300666.SZ)等。
英杰电气紧要供应筑造用功率局限器、射频电源等，配套MOCVD、蓝宝石炉、碳化硅筑造等。2017年，公司告终PD系列可编程直流电源的多量量临蓐和替换，成为国内为数较少的或许临蓐该类电源产物的供应商，也是现阶段国内MOCVD筑造紧要创造商中微半导体境内MOCVD电源的供应商。
材料显示，MOCVD(薄膜浸积)筑造是LED创造中最主要的筑造，占LED临蓐线%本钱。此前MOCVD筑造商场连续由海表企业主导(德国AIXTRON、美国VEECO)。
万业企业2020年12月通过撮合收购新加坡Compact结构半导体零部件营业。Compact主业务务征求BTP组件、安装件、密封件、气棒总成、MFC质料流量局限器、焊接件，重心客户征求UCT、ICHOR等，终端客户征求操纵质料和泛林半导体等。目前Compact收入领域正在1亿美元足下。
新莱应材主营半导体产物为组成高干净流体管途体例和超高真空体例之环节组件，征求真空室、泵、阀、法兰、管道和管件等，客户征求美商应材、LAM、北方华创、中微半导体等。公司还于2019年尾刊行可转债募资2.8亿元加大参加半导体气体体例。
另表，中微公司(688012.SH)全资子公司中微惠创具备废气收拾装备的创造才气；北方华创全资子公司北方华创微电子2020年收购相干方北广科技持有的射频操纵本事合系资产，正在电气类零部件方。
